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型号：BTF-1700C-CVD
设备特点：
此款1700℃高热CVD软件，是由1700度管式炉、三路产品重量2g涡轮流量计软件已经國產高抽蒸空软件（或选装低抽蒸空软件）所組成。此机器机器机器设备关键适用于:抽蒸空或节日气氛烧结法、基片表层的镀膜等的要求采暖器平均温度较高的工作生态环境. 机器机器机器设备高技术工艺早熟、产品重量信得过，温场一致，构造合理化，气路选则教学液晶显示触摸屏界面显示，使用方法非常容易、利于；机器机器机器设备的多种高技术工艺运作，30段可程序编程温度控制器软件也了如指掌,使一整块🦩工作的加载感觉尽在您的把控内。
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高温区技术指标： | 炉管大小：Φ60/80×1000mm（管道直径可以选择） 热处理加热元器件封装：硅钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 稳定工作功率：5.2 KW 外貌外形尺寸：610×440×720 mm 规范物品：高纯1支，2对，1套，2套，1副，1支，小保险服务1个； ꧋封密模式：炉管两端备有装饰管封密活套法兰（有精细针阀，指示♔针式真空泵各种安全阀和排水管式宝塔嘴管接头） 串口可按真实应用加密。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 ♋; &n𒆙bsp; 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连结头型号：双卡套不锈钢材料金属接头。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国内助力泵机型：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 主机电源：220v 50hz 减速机输出：0.4kw 进排气阀拼接口：KF25 用油量：1.1L 交流电动机转速比：1440rpm 作业自然环境体温：5-40℃ 噪声：≤56db 电阻真空计参数： 1.搭载规管：ZJ-52T功率电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.在线测量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.管理的方法：继电商大电流继电器模拟输出，负债效率 AꦫC220V/3A (或DC28V/3A🍌)无感觉负债， 6.交流电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗测试： 20W 所采用波浪纹管人工机械挡板阀与正空装置相邻接。 |
高真空系统参数：
| 热空气取决于含水率：≤85% 作业电压值：AC220V±10% 50/60HZ 工作功率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 外观面积：850×600×650mm 机械泵: 抽气传输速率：10m³/h 容容量：1.1L 调速电机发电机功率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气时延：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 开始时刻：＜2min 额定功率转速比：4300转/分 空气冷却措施：场景平均温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，风冷。 分子泵控制器: 的电压：220V±22V 开启电压：≤7A 输人频繁 ：47HZ—63HZ 大工作输出公率：≤150W 大减速直流电压：≤40V 速度事件：≤3min 频段（双速）：高705HZ±10HZ &nb♒sp; 低速度430HZ±5HZ 复合真空计: 测试路数：2路（电阻器规、电离规各1路） 事业方式：一键/自动式 功率电阻单元尺寸数据 规管规格型号：ZJ-52T阻值规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离模快参数表 规管材质：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式英文：焦耳去气 其它的性能参数 掌控路数：4路 把握措施：点动或部分把握/带掉电记忆训练 调整精准度：±1% 监测时长：1S 24v电源：220V±10% 50HZ 输出功率：50W 使用的室内环境湿度：0℃~45℃ 相对湿度：≤85% 相连管道阀门: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 所采用纹线管全自动挡板阀与真空度体系相通接。 |
备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
